וואָס איז אַ געפירט שפּאָן? אַזוי וואָס זענען זייַן טשאַראַקטעריסטיקס? די מאַנופאַקטורינג פון געפירט טשיפּס איז דער הויפּט אַימעד צו פּראָדוצירן עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָומיק קאָנטאַקט ילעקטראָודז, וואָס קענען טרעפן די לעפיערעך קליין וואָולטידזש קאַפּ צווישן קאָנטאַקט מאַטעריאַלס און צושטעלן סאַדער פּאַדס, בשעת ימיטינג ווי פיל ליכט ווי מעגלעך. דער פילם אַריבערפירן פּראָצעס בכלל ניצט וואַקוום יוואַפּעריישאַן אופֿן. אונטער 4 פּאַ הויך וואַקוום, דער מאַטעריאַל איז צעלאָזן דורך קעגנשטעל באַהיצונג אָדער עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדמענט באַהיצונג אופֿן, און BZX79C18 איז פארוואנדלען אין מעטאַל פארע און דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל אונטער נידעריק דרוק.
די קאַמאַנלי געניצט פּ-טיפּ קאָנטאַקט מעטאַלס ​​אַרייַננעמען אַלויז אַזאַ ווי AuBe און AuZn, בשעת די N-זייַט קאָנטאַקט מעטאַל איז אָפט געמאכט פון AuGeNi צומיש. די צומיש שיכטע געשאפן נאָך קאָוטינג אויך דאַרף צו ויסשטעלן די ליכט-ימיטינג געגנט ווי פיל ווי מעגלעך דורך פאָטאָליטהאָגראַפי טעכנאָלאָגיע, אַזוי אַז די רוען צומיש שיכטע קענען טרעפן די רעקווירעמענץ פון עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָומיק קאָנטאַקט ילעקטראָודז און סאַדער דראָט פּאַדס. נאָך די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס איז געענדיקט, אַ אַללויינג פּראָצעס איז אויך דורכגעקאָכט, יוזשאַוואַלי אונטער די שוץ פון H2 אָדער N2. די צייט און טעמפּעראַטור פון אַלויינג זענען יוזשאַוואַלי באשלאסן דורך סיבות אַזאַ ווי די קעראַקטעריסטיקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און די פאָרעם פון די צומיש אויוון. פון קורס, אויב די ילעקטראָוד פּראָצעס פֿאַר בלוי-גרין טשיפּס איז מער קאָמפּליצירט, פּאַסיוויישאַן פילם וווּקס און פּלאַזמע עטשינג פּראַסעסאַז דאַרפֿן צו זיין צוגעגעבן.

אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון געפירט טשיפּס, וואָס פּראַסעסאַז האָבן אַ באַטייטיק פּראַל אויף זייער אָפּטאָילעקטראָניק פאָרשטעלונג?
אין אַלגעמיין, נאָך די קאַמפּלישאַן פון געפירט עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, די הויפּט עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס האָבן שוין פיינאַלייזד, און שפּאָן מאַנופאַקטורינג טוט נישט טוישן די האַרץ נאַטור. אָבער, ינאַפּראָופּרייט טנאָים בעשאַס קאָוטינג און אַללויינג פּראַסעסאַז קענען פאַרשאַפן עטלעכע נעבעך עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס. פֿאַר בייַשפּיל, נידעריק אָדער הויך אַללויינג טעמפּעראַטורעס קענען פאַרשאַפן נעבעך אָהמיק קאָנטאַקט, וואָס איז די הויפּט סיבה פֿאַר הויך פאָרויס וואָולטידזש קאַפּ VF אין שפּאָן מאַנופאַקטורינג. נאָך קאַטינג, פּערפאָרמינג עטלעכע קעראָוזשאַן פּראַסעסאַז אויף די עדזשאַז פון די שפּאָן קענען זיין נוציק אין ימפּרוווינג די פאַרקערט ליקאַדזש פון די שפּאָן. דאָס איז ווייַל נאָך קאַטינג מיט אַ דימענט גרינדינג ראָד בלייד, עס וועט זיין אַ גרויס סומע פון ​​דעבריס פּודער רוען בייַ די ברעג פון די שפּאָן. אויב די פּאַרטיקאַלז שטעקן צו די PN קנופּ פון די געפירט שפּאָן, זיי וועלן פאַרשאַפן עלעקטריקאַל ליקאַדזש און אפילו ברייקדאַון. אין דערצו, אויב די פאָטאָרעסיסט אויף די ייבערפלאַך פון די שפּאָן איז נישט פּיילד אַוועק ריין, דאָס וועט פאַרשאַפן שוועריקייטן און ווירטואַל סאַדערינג פון די פראָנט סאַדער שורות. אויב עס איז אויף די צוריק, עס וועט אויך פאַרשאַפן אַ הויך דרוק קאַפּ. בעשאַס די שפּאָן פּראָדוקציע פּראָצעס, מעטהאָדס אַזאַ ווי ייבערפלאַך ראַפאַנינג און קאַטינג אין ינווערטיד טראַפּעזאָידאַל סטראַקטשערז קענען פאַרגרעסערן ליכט ינטענסיטי.

פארוואס זענען געפירט טשיפּס צעטיילט אין פאַרשידענע סיזעס? וואָס זענען די יפעקץ פון גרייס אויף די פאָטאָעלעקטריק פאָרשטעלונג פון געפירט?
די גרייס פון געפירט טשיפּס קענען זיין צעטיילט אין נידעריק-מאַכט טשיפּס, מיטל מאַכט טשיפּס און הויך-מאַכט טשיפּס לויט זייער מאַכט. לויט קונה רעקווירעמענץ, עס קענען זיין צעטיילט אין קאַטעגאָריעס אַזאַ ווי איין רער מדרגה, דיגיטאַל מדרגה, פּונקט מאַטריץ מדרגה און דעקאָראַטיווע לייטינג. ווי פֿאַר די ספּעציפיש גרייס פון דעם שפּאָן, עס דעפּענדס אויף די פאַקטיש פּראָדוקציע מדרגה פון פאַרשידענע שפּאָן מאַניאַפאַקטשערערז און עס זענען קיין ספּעציפיש רעקווירעמענץ. ווי לאַנג ווי דער פּראָצעס איז אַרויף צו נאָרמאַל, קליין טשיפּס קענען פאַרגרעסערן אַפּאַראַט פּראָדוקציע און רעדוצירן קאָס, און די אָפּטאָעלעקטראָניק פאָרשטעלונג וועט נישט אַנדערגאָו פונדאַמענטאַל ענדערונגען. דער שטראם וואס א שפּאפ באנוצט איז פאקטיש פארבונדן מיט די יעצטיגע געדיכטקייט וואס פליסט דורך אים. א קליין שפּאָן ניצט ווייניקער קראַנט, בשעת אַ גרויס שפּאָן ניצט מער קראַנט. זייער אַפּאַראַט קראַנט געדיכטקייַט איז בייסיקלי די זעלבע. קאָנסידערינג אַז היץ דיסיפּיישאַן איז די הויפּט אַרויסגעבן אונטער הויך קראַנט, זייַן לייַכטיק עפעקטיווקייַט איז נידעריקער ווי אַז אונטער נידעריק קראַנט. אויף די אנדערע האַנט, ווי די שטח ינקריסיז, די גוף קעגנשטעל פון די שפּאָן וועט פאַרמינערן, ריזאַלטינג אין אַ פאַרקלענערן אין די פאָרויס קאַנדאַקשאַן וואָולטידזש.

וואָס איז די טיפּיש געגנט פון געפירט הויך-מאַכט טשיפּס? פארוואס?
געפירט הויך-מאַכט טשיפּס געניצט פֿאַר ווייַס ליכט זענען בכלל בנימצא אין די מאַרק אַרום 40 מיל, און די מאַכט קאַנסאַמשאַן פון הויך-מאַכט טשיפּס בכלל רעפערס צו עלעקטריקאַל מאַכט העכער 1 וו. רעכט צו דעם פאַקט אַז קוואַנטום עפעקטיווקייַט איז בכלל ווייניקער ווי 20%, רובֿ עלעקטריקאַל ענערגיע איז קאָנווערטעד אין היץ ענערגיע, אַזוי די היץ דיסיפּיישאַן פון הויך-מאַכט טשיפּס איז זייער וויכטיק און ריקווייערז טשיפּס צו האָבן אַ גרויס שטח.

וואָס זענען די פאַרשידענע רעקווירעמענץ פֿאַר די שפּאָן פּראָצעס און פּראַסעסינג ויסריכט פֿאַר מאַנופאַקטורינג GaN עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס קאַמפּערד מיט GaP, GaAs און InGaAlP? פארוואס?
די סאַבסטרייץ פון פּראָסט געפירט רויט און געל טשיפּס און הויך ברייטנאַס קוואַטערנערי רויט און געל טשיפּס זענען געמאכט פון קאַמפּאַונד סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי גאַפּ און גאַאַס, און קענען בכלל זיין געמאכט אין N-טיפּ סאַבסטרייץ. נאַס פּראָצעס איז געניצט פֿאַר פאָטאָליטאָגראַפי, און דעמאָלט דימענט גרינדינג ראָד בלאַדעס זענען געניצט צו שנייַדן אין טשיפּס. די בלוי-גרין שפּאָן געמאכט פון GaN מאַטעריאַל ניצט אַ סאַפייער סאַבסטרייט. רעכט צו דער ינסאַלייטינג נאַטור פון די סאַפייער סאַבסטרייט, עס קענען ניט זיין געוויינט ווי איין ילעקטראָוד פון די געפירט. דעריבער, ביידע P / N ילעקטראָודז מוזן זיין סיימאַלטייניאַסלי פאַבריקייטיד אויף די עפּיטאַקסיאַל ייבערפלאַך דורך טרוקן עטשינג פּראָצעס, און עטלעכע פּאַסיוויישאַן פּראַסעסאַז מוזן זיין דורכגעקאָכט. רעכט צו דער כאַרדנאַס פון סאַפייער, עס איז שווער צו שנייַדן עס אין טשיפּס מיט אַ דימענט גרינדינג ראָד בלייד. זיין מאַנופאַקטורינג פּראָצעס איז בכלל מער קאָמפּליצירט און ינטראַקאַט ווי לעדס געמאכט פון גאַפּ אָדער גאַאַס מאַטעריאַלס.

וואָס זענען די סטרוקטור און קעראַקטעריסטיקס פון די "טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד" שפּאָן?
די אַזוי גערופענע טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד דאַרף זיין קאַנדאַקטיוו און טראַנספּעראַנט. דער מאַטעריאַל איז איצט וויידלי געניצט אין פליסיק קריסטאַל פּראָדוקציע פּראַסעסאַז, און זיין נאָמען איז ינדיום צין אַקסייד, אַבריוויייטיד ווי יטאָ, אָבער עס קען נישט זיין געוויינט ווי אַ סאַדער בלאָק. ווען איר מאַכן, ערשטער מאַכן אַן אָמיק ילעקטראָוד אויף די ייבערפלאַך פון די שפּאָן, דעמאָלט דעקן די ייבערפלאַך מיט אַ פּלאַסט פון יטאָ און פּלאַטע אַ פּלאַסט פון סאַדער בלאָק אויף די יטאָ ייבערפלאַך. אין דעם וועג, די קראַנט קומען אַראָפּ פון די פירן איז יוואַנלי פונאנדערגעטיילט צו יעדער אָהמיק קאָנטאַקט ילעקטראָוד דורך די יטאָ שיכטע. אין דער זעלביקער צייט, יטאָ, רעכט צו זיין ראַפראַקטיוו אינדעקס צווישן אַז פון לופט און עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס, קענען פאַרגרעסערן די ווינקל פון ליכט ימישאַן און די לייַכטיק פלאַקס.

וואָס איז די מיינסטרים אַנטוויקלונג פון שפּאָן טעכנאָלאָגיע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער לייטינג?
מיט דער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די פעלד פון לייטינג איז אויך ינקריסינג, ספּעציעל די ימערדזשאַנס פון ווייַס געפירט, וואָס איז געווארן אַ הייס טעמע אין סעמיקאַנדאַקטער לייטינג. אָבער, שליסל שפּאָן און פּאַקקאַגינג טעקנאַלאַדזשיז נאָך דאַרפֿן צו זיין ימפּרוווד, און אין טערמינען פון טשיפּס, מיר דאַרפֿן צו אַנטוויקלען צו הויך מאַכט, הויך ליכט עפעקטיווקייַט און רידוסט טערמאַל קעגנשטעל. ינקרעאַסינג מאַכט מיטל אַ פאַרגרעסערן אין די קראַנט געניצט דורך די שפּאָן, און אַ מער דירעקט וועג איז צו פאַרגרעסערן די שפּאָן גרייס. די קאַמאַנלי געניצט הויך-מאַכט טשיפּס זענען אַרום 1 מם × 1 מם, מיט אַ קראַנט פון 350 מאַ. רעכט צו דער פאַרגרעסערן אין קראַנט באַניץ, היץ דיסיפּיישאַן איז געווארן אַ באַוווסט פּראָבלעם, און איצט דעם פּראָבלעם איז בייסיקלי סאַלווד דורך דעם אופֿן פון שפּאָן ינווערזשאַן. מיט דער אַנטוויקלונג פון געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די פעלד פון לייטינג וועט פּנים אַנפּרעסידענטיד אַפּערטונאַטיז און טשאַלאַנדזשיז.

וואָס איז אַ "פליפּ שפּאָן"? וואָס איז זייַן סטרוקטור? וואָס זענען זייַן אַדוואַנטידזשיז?
בלוי געפירט יוזשאַוואַלי ניצט אַל2אָ3 סאַבסטרייט, וואָס האט הויך כאַרדנאַס, נידעריק טערמאַל און עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי. אויב אַ positive סטרוקטור איז געניצט, עס וועט ברענגען אַנטי-סטאַטיק פּראָבלעמס אויף די איין האַנט, און אויף די אנדערע האַנט, היץ דיסיפּיישאַן וועט אויך ווערן אַ הויפּט אַרויסגעבן אונטער הויך קראַנט טנאָים. דערווייַל, רעכט צו דער positive ילעקטראָוד פייסינג אַרוף, אַ טייל פון די ליכט וועט זיין אפגעשטעלט, ריזאַלטינג אין אַ פאַרקלענערן אין לייַכטיק עפעקטיווקייַט. הויך מאַכט בלוי געפירט קענען דערגרייכן מער עפעקטיוו ליכט רעזולטאַט דורך שפּאָן ינווערזשאַן טעכנאָלאָגיע ווי טראדיציאנעלן פּאַקקאַגינג טעכנאָלאָגיע.
די מיינסטרים ינווערטיד סטרוקטור אופֿן איז איצט צו צוגרייטן גרויס-סייזד בלוי געפירט טשיפּס מיט פּאַסיק יוטעקטיק סאַדערינג ילעקטראָודז, און אין דער זעלביקער צייט צוגרייטן אַ ביסל גרעסערע סיליציום סאַבסטרייט ווי די בלוי געפירט שפּאָן, און דערנאָך מאַכן אַ גאָלד קאַנדאַקטיוו שיכטע און פירן אויס דראָט. שיכטע (אַלטראַסאַניק גאָלד דראָט פּילקע סאַדער שלאָס) פֿאַר יוטעקטיק סאַדערינג אויף עס. דערנאָך, די הויך-מאַכט בלוי געפירט שפּאָן איז סאַדערד צו די סיליציום סאַבסטרייט מיט יוטעקטיק סאַדערינג ויסריכט.
די כאַראַקטעריסטיש פון דעם סטרוקטור איז אַז די עפּיטאַקסיאַל שיכטע גלייך קאָנטאַקט די סיליציום סאַבסטרייט, און די טערמאַל קעגנשטעל פון די סיליציום סאַבסטרייט איז פיל נידעריקער ווי אַז פון די סאַפייער סאַבסטרייט, אַזוי די פּראָבלעם פון היץ דיסיפּיישאַן איז געזונט סאַלווד. רעכט צו דער ינווערטיד סאַפייער סאַבסטרייט פייסינג אַרוף, עס ווערט די ליכט ימיטינג ייבערפלאַך, און סאַפייער איז טראַנספּעראַנט, אַזוי סאַלווינג די פּראָבלעם פון ליכט ימישאַן. די אויבן איז די באַטייַטיק וויסן פון געפירט טעכנאָלאָגיע. מיר גלויבן אַז מיט דער אַנטוויקלונג פון וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע, צוקונפֿט געפירט לייץ וועט ווערן ינקריסינגלי עפעקטיוו און זייער דינסט לעבן וועט זיין זייער ימפּרוווד, ברענגען אונדז אַ גרעסערע קאַנוויניאַנס.