וואָס איז אַ געפירט שפּאָן? אַזוי וואָס זענען זייַן טשאַראַקטעריסטיקס? דער הויפּט ציל פון געפירט שפּאָן מאַנופאַקטורינג איז צו פּראָדוצירן עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָום קאָנטאַקט ילעקטראָודז, און צו טרעפן די לעפיערעך קליין וואָולטידזש קאַפּ צווישן קאָנטאַקטאַבלע מאַטעריאַלס און צושטעלן דרוק פּאַדס פֿאַר סאַדערינג ווירעס, בשעת מאַקסאַמייזינג די סומע פון ​​​​ליכט רעזולטאַט. דער קרייַז פילם פּראָצעס בכלל ניצט וואַקוום יוואַפּעריישאַן אופֿן. אונטער אַ הויך וואַקוום פון 4פּאַ, דער מאַטעריאַל איז צעלאָזן דורך קעגנשטעל באַהיצונג אָדער עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדמענט באַהיצונג אופֿן, און BZX79C18 איז פארוואנדלען אין מעטאַל פארע און דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל אונטער נידעריק דרוק.
די קאַמאַנלי געניצט פּ-טיפּ קאָנטאַקט מעטאַלס ​​אַרייַננעמען אַלויז אַזאַ ווי AuBe און AuZn, בשעת די קאָנטאַקט מעטאַל אויף די N-זייַט איז אָפט געמאכט פון AuGeNi צומיש. די צומיש שיכטע געשאפן נאָך קאָוטינג אויך דאַרף זיין יקספּאָוזד ווי פיל ווי מעגלעך אין די לומאַנעסאַנט געגנט דורך פאָטאָליטהאָגראַפי פּראָצעס, אַזוי אַז די רוען צומיש שיכטע קענען טרעפן די רעקווירעמענץ פון עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָום קאָנטאַקט ילעקטראָודז און סאַדער דראָט דרוק פּאַדס. נאָך די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס איז געענדיקט, עס אויך דאַרף צו דורכגיין די אַללויינג פּראָצעס, וואָס איז יוזשאַוואַלי דורכגעקאָכט אונטער די שוץ פון H2 אָדער N2. די צייט און טעמפּעראַטור פון אַלויינג זענען יוזשאַוואַלי באשלאסן דורך סיבות אַזאַ ווי די קעראַקטעריסטיקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און די פאָרעם פון די צומיש אויוון. פון קורס, אויב די בלוי-גרין און אנדערע שפּאָן ילעקטראָוד פּראַסעסאַז זענען מער קאָמפּליצירט, עס איז נייטיק צו לייגן פּאַסיוויישאַן פילם וווּקס, פּלאַזמע עטשינג פּראַסעסאַז, אאז"ו ו.
אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון געפירט טשיפּס, וואָס פּראַסעסאַז האָבן אַ באַטייטיק פּראַל אויף זייער אָפּטאָילעקטראָניק פאָרשטעלונג?
אין אַלגעמיין, נאָך די קאַמפּלישאַן פון געפירט עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, די הויפּט עלעקטריקאַל פאָרשטעלונג איז פיינאַלייזד, און שפּאָן מאַנופאַקטורינג טוט נישט טוישן די האַרץ פּראָדוקציע נאַטור. אָבער, ינאַפּראָופּרייט טנאָים בעשאַס די קאָוטינג און אַללויינג פּראָצעס קענען אָנמאַכן עטלעכע עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס צו זיין אָרעם. פֿאַר בייַשפּיל, נידעריק אָדער הויך אַללויינג טעמפּעראַטורעס קענען פאַרשאַפן נעבעך אָהמיק קאָנטאַקט, וואָס איז די הויפּט סיבה פון הויך פאָרויס וואָולטידזש קאַפּ VF אין שפּאָן מאַנופאַקטורינג. נאָך קאַטינג, עטלעכע קעראָוזשאַן פּראַסעסאַז אויף די עדזשאַז פון די שפּאָן קענען זיין נוציק אין ימפּרוווינג די פאַרקערט ליקאַדזש פון די שפּאָן. דאָס איז ווייַל נאָך קאַטינג מיט אַ דימענט גרינדינג ראָד בלייד, עס וועט זיין אַ פּלאַץ פון ריזידזשואַל דעבריס און פּודער בייַ די ברעג פון די שפּאָן. אויב די פּאַרטיקאַלז שטעקן צו די PN קנופּ פון די געפירט שפּאָן, זיי וועלן פאַרשאַפן עלעקטריקאַל ליקאַדזש און אפילו ברייקדאַון. אין דערצו, אויב די פאָטאָרעסיסט אויף די ייבערפלאַך פון די שפּאָן איז נישט פּיילד אַוועק ריין, דאָס וועט פאַרשאַפן שוועריקייטן אין פראָנט סאַדערינג און ווירטואַל סאַדערינג. אויב עס איז אויף די צוריק, עס וועט אויך פאַרשאַפן אַ הויך דרוק קאַפּ. בעשאַס די שפּאָן פּראָדוקציע פּראָצעס, ייבערפלאַך ראַפענינג און טראַפּעזאָידאַל סטראַקטשערז קענען זיין געניצט צו פאַרגרעסערן ליכט ינטענסיטי.
פארוואס טאָן געפירט טשיפּס דאַרפֿן צו זיין צעטיילט אין פאַרשידענע סיזעס? וואָס איז די פּראַל פון גרייס אויף געפירט אָפּטאָילעקטראָניק פאָרשטעלונג?
געפירט טשיפּס קענען זיין צעטיילט אין נידעריק מאַכט טשיפּס, מיטל מאַכט טשיפּס און הויך מאַכט טשיפּס באזירט אויף מאַכט. לויט קונה רעקווירעמענץ, עס קענען זיין צעטיילט אין קאַטעגאָריעס אַזאַ ווי איין רער מדרגה, דיגיטאַל מדרגה, פּונקט מאַטריץ מדרגה און דעקאָראַטיווע לייטינג. ווי פֿאַר די ספּעציפיש גרייס פון דעם שפּאָן, עס דעפּענדס אויף די פאַקטיש פּראָדוקציע מדרגה פון פאַרשידענע שפּאָן מאַניאַפאַקטשערערז און עס זענען קיין ספּעציפיש רעקווירעמענץ. ווי לאַנג ווי דער פּראָצעס איז דורכגעגאנגען, די שפּאָן קענען פאַרגרעסערן אַפּאַראַט פּראָדוקציע און רעדוצירן קאָס, און די פאָטאָעלעקטריק פאָרשטעלונג וועט נישט אַנדערגאָו פונדאַמענטאַל ענדערונגען. דער שטראם וואס א שפּאָן באנוצט איז פאקטיש שייך צו די יעצטיגע געדיכטקייט וואס פליסט דורך דעם שפּאָן. א קליין שפּאָן ניצט ווייניקער קראַנט, בשעת אַ גרויס שפּאָן ניצט מער קראַנט, און זייער אַפּאַראַט קראַנט געדיכטקייַט איז בייסיקלי די זעלבע. קאַנסידערינג אַז היץ דיסיפּיישאַן איז דער הויפּט פּראָבלעם אונטער הויך קראַנט, זייַן לייַכטיק עפעקטיווקייַט איז נידעריקער ווי אַז אונטער נידעריק קראַנט. אויף די אנדערע האַנט, ווי די שטח ינקריסיז, די גוף קעגנשטעל פון די שפּאָן וועט פאַרמינערן, ריזאַלטינג אין אַ פאַרקלענערן אין די פאָרויס קאַנדאַקשאַן וואָולטידזש.

וואָס איז דער אַלגעמיין געגנט פון געפירט הויך-מאַכט טשיפּס? פארוואס?
געפירט הויך-מאַכט טשיפּס געניצט פֿאַר ווייַס ליכט זענען בכלל געזען אין די מאַרק אַרום 40 מיל, און די מאַכט געניצט פֿאַר הויך-מאַכט טשיפּס בכלל רעפערס צו אַן עלעקטריקאַל מאַכט פון איבער 1 וו. רעכט צו דער קוואַנטום עפעקטיווקייַט איז בכלל ווייניקער ווי 20%, רובֿ עלעקטריקאַל ענערגיע איז קאָנווערטעד אין טערמאַל ענערגיע, אַזוי היץ דיסיפּיישאַן איז וויכטיק פֿאַר הויך-מאַכט טשיפּס, וואָס ריקווייערז זיי צו האָבן אַ גרויס שטח.
וואָס זענען די פאַרשידענע רעקווירעמענץ פֿאַר שפּאָן טעכנאָלאָגיע און פּראַסעסינג ויסריכט פֿאַר מאַנופאַקטורינג GaN עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס קאַמפּערד מיט GaP, GaAs און InGaAlP? פארוואס?
די סאַבסטרייץ פון פּראָסט געפירט רויט און געל טשיפּס און הויך ברייטנאַס קוואַטערנערי רויט און געל טשיפּס ביידע נוצן קאַמפּאַונד סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי גאַפּ און גאַאַס, און קענען בכלל זיין געמאכט אין N-טיפּ סאַבסטרייץ. ניצן נאַס פּראָצעס פֿאַר פאָטאָליטאָגראַפי, און שפּעטער קאַטינג אין טשיפּס ניצן דימענט גרינדינג ראָד בלאַדעס. די בלוי-גרין שפּאָן געמאכט פון GaN מאַטעריאַל ניצט אַ סאַפייער סאַבסטרייט. רעכט צו דער ינסאַלייטינג נאַטור פון די סאַפייער סאַבסטרייט, עס קענען ניט זיין געוויינט ווי אַ געפירט ילעקטראָוד. דעריבער, ביידע P / N ילעקטראָודז מוזן זיין געמאכט אויף די עפּיטאַקסיאַל ייבערפלאַך דורך טרוקן עטשינג און עטלעכע פּאַסיוויישאַן פּראַסעסאַז מוזן זיין דורכגעקאָכט. רעכט צו דער כאַרדנאַס פון סאַפייער, עס איז שווער צו שנייַדן אין טשיפּס מיט דימענט גרינדינג ראָד בלאַדעס. זיין מאַנופאַקטורינג פּראָצעס איז בכלל מער קאָמפּליצירט ווי די פון גאַפּ און גאַאַס מאַטעריאַלס פֿאַרגעפירט מבול לייץ.

וואָס איז די סטרוקטור און קעראַקטעריסטיקס פון אַ "טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד" שפּאָן?
די אַזוי גערופענע טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד זאָל זיין ביכולת צו פירן עלעקטרע און קענען יבערשיקן ליכט. דער מאַטעריאַל איז איצט וויידלי געניצט אין פליסיק קריסטאַל פּראָדוקציע פּראַסעסאַז, און זיין נאָמען איז ינדיום צין אַקסייד, אַבריוויייטיד ווי יטאָ, אָבער עס קען נישט זיין געוויינט ווי אַ סאַדער בלאָק. ווען איר מאַכן, עס איז נייטיק צו ערשטער צוגרייטן אַן אָמיק ילעקטראָוד אויף די ייבערפלאַך פון די שפּאָן, דעמאָלט דעקן די ייבערפלאַך מיט אַ שיכטע פון ​​יטאָ, און דעמאָלט אַוועקלייגן אַ פּלאַסט פון סאַדער פּאַדס אויף די יטאָ ייבערפלאַך. אין דעם וועג, די קראַנט וואָס קומט אַראָפּ פון די פירן דראָט איז יוואַנלי פונאנדערגעטיילט איבער די יטאָ שיכטע צו יעדער אָמיק קאָנטאַקט ילעקטראָוד. אין דער זעלביקער צייט, ווייַל די רעפראַקטיווע אינדעקס פון יטאָ איז צווישן די לופט און די רעפראַקטיווע אינדעקס פון די עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל, די ליכט ווינקל קענען זיין געוואקסן און די ליכט פלאַקס קענען זיין געוואקסן.

וואָס איז די מיינסטרים אַנטוויקלונג פון שפּאָן טעכנאָלאָגיע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער לייטינג?
מיט דער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די פעלד פון לייטינג איז אויך ינקריסינג, ספּעציעל די ימערדזשאַנס פון ווייַס געפירט, וואָס איז געווארן אַ הייס טעמע אין סעמיקאַנדאַקטער לייטינג. אָבער, די שליסל טשיפּס און פּאַקקאַגינג טעקנאַלאַדזשיז נאָך דאַרפֿן צו זיין ימפּרוווד, און די אַנטוויקלונג פון טשיפּס זאָל פאָקוס אויף הויך מאַכט, הויך ליכט עפעקטיווקייַט און רידוסינג טערמאַל קעגנשטעל. ינקרעאַסינג מאַכט מיטל ינקריסינג די באַניץ קראַנט פון די שפּאָן, און אַ מער דירעקט וועג איז צו פאַרגרעסערן די שפּאָן גרייס. די קאַמאַנלי געניצט הויך-מאַכט טשיפּס זענען אַרום 1 מם רענטגענ 1 מם, מיט אַ באַניץ קראַנט פון 350 מאַ. רעכט צו דער פאַרגרעסערן אין באַניץ קראַנט, היץ דיסיפּיישאַן איז געווארן אַ באַוווסט פּראָבלעם. איצט, דער אופֿן פון שפּאָן ינווערזשאַן האט בייסיקלי סאַלווד דעם פּראָבלעם. מיט דער אַנטוויקלונג פון געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די לייטינג פעלד וועט פּנים אַנפּרעסידענטיד אַפּערטונאַטיז און טשאַלאַנדזשיז.
וואָס איז אַ ינווערטיד שפּאָן? וואָס איז זייַן סטרוקטור און וואָס זענען זייַן אַדוואַנידזשיז?
בלוי ליכט לעדס יוזשאַוואַלי נוצן Al2O3 סאַבסטרייץ, וואָס האָבן הויך כאַרדנאַס, נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי. אויב מען ניצט א פארמאלע סטרוקטור, פון איין זייט, וועט עס ברענגען אנטי-סטאטישע פראבלעמען, און פון די אנדערע זייט וועט די היץ פארניכטונג אויך ווערן א גרויסע פראבלעם אונטער הויך שטרעמונגען. אין דער זעלביקער צייט, רעכט צו דער positive ילעקטראָוד פייסינג אַרוף, עס וועט פאַרשפּאַרן עטלעכע פון ​​די ליכט און רעדוצירן די לייַכטיק עפעקטיווקייַט. הויך מאַכט בלוי ליכט לעדס קענען דערגרייכן מער עפעקטיוו ליכט רעזולטאַט דורך שפּאָן פליפּ טעכנאָלאָגיע ווי בעקאַבאָלעדיק פּאַקקאַגינג טעקניקס.
די איצטיקע מיינסטרים ינווערטיד סטרוקטור צוגאַנג איז צו ערשטער צוגרייטן גרויס-סייזד בלוי ליכט געפירט טשיפּס מיט פּאַסיק יוטעקטיק וועלדינג ילעקטראָודז, און אין דער זעלביקער צייט, צוגרייטן אַ סיליציום סאַבסטרייט אַ ביסל גרעסער ווי די בלוי ליכט געפירט שפּאָן, און אויף שפּיץ פון עס, מאַכן אַ סיליציום סאַבסטרייט. גאָלד קאַנדאַקטיוו שיכטע פֿאַר יוטעקטיק וועלדינג און אַ פירן אויס שיכטע (אַלטראַסאַניק גאָלד דראָט פּילקע סאַדער שלאָס). דערנאָך, הויך-מאַכט בלוי געפירט טשיפּס זענען סאַדערד צוזאַמען מיט סיליציום סאַבסטרייץ ניצן יוטעקטיק וועלדינג ויסריכט.
די כאַראַקטעריסטיש פון דעם סטרוקטור איז אַז די עפּיטאַקסיאַל שיכטע גלייך קאָנטאַקט די סיליציום סאַבסטרייט, און די טערמאַל קעגנשטעל פון די סיליציום סאַבסטרייט איז פיל נידעריקער ווי אַז פון די סאַפייער סאַבסטרייט, אַזוי די פּראָבלעם פון היץ דיסיפּיישאַן איז געזונט סאַלווד. רעכט צו דעם פאַקט אַז די סאַפייער סאַבסטרייט פייסיז אַרוף נאָך ינווערזשאַן, שיין די ימיטינג ייבערפלאַך, די סאַפייער איז טראַנספּעראַנט, אַזוי סאַלווינג די פּראָבלעם פון ימיטינג ליכט. די אויבן איז די באַטייַטיק וויסן פון געפירט טעכנאָלאָגיע. איך גלויבן אַז מיט דער אַנטוויקלונג פון וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע,געפירט לייץוועט ווערן מער און מער עפעקטיוו אין דער צוקונפֿט, און זייער דינסט לעבן וועט זיין זייער ימפּרוווד, ברענגען אונדז גרעסער קאַנוויניאַנס.