וואָס איז אַןגעפירט שפּאָן? אַזוי וואָס זענען זייַן טשאַראַקטעריסטיקס?געפירט שפּאָן מאַנופאַקטורינגאיז דער הויפּט צו פּראָדוצירן עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָום קאָנטאַקט ילעקטראָוד, טרעפן די לעפיערעך קליין וואָולטידזש קאַפּ צווישן די קאָנטאַקטאַבלע מאַטעריאַלס, צושטעלן די דרוק בלאָק פֿאַר די וועלדינג דראָט, און אין דער זעלביקער צייַט, ווי פיל ליכט ווי מעגלעך. דער יבערגאַנג פילם פּראָצעס בכלל ניצט וואַקוום יוואַפּעריישאַן אופֿן. אונטער 4Pa הויך וואַקוום, די מאַטעריאַלס זענען צעלאָזן דורך קעגנשטעל באַהיצונג אָדער עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדמענט באַהיצונג, און BZX79C18 איז פארוואנדלען אין מעטאַל פארע צו אַוועקלייגן אויף די ייבערפלאַך פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אונטער נידעריק דרוק.

די אָפט געניצט פּ-טיפּ קאָנטאַקט מעטאַלס ​​אַרייַננעמען AuBe, AuZn און אנדערע אַלויז, און די קאָנטאַקט מעטאַלס ​​אויף די N-זייַט זענען יוזשאַוואַלי AuGeNi אַלויז. די צומיש שיכטע געשאפן נאָך קאָוטינג אויך דאַרף צו ויסשטעלן די לייַכטיק געגנט ווי פיל ווי מעגלעך דורך פאָטאָליטאָגראַפי, אַזוי אַז די רוען צומיש שיכטע קענען טרעפן די רעקווירעמענץ פון עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָום קאָנטאַקט ילעקטראָוד און וועלדינג שורה בלאָק. נאָך די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס איז דורכגעקאָכט, די אַללויינג פּראָצעס וועט זיין דורכגעקאָכט אונטער די שוץ פון H2 אָדער N2. די צייט און טעמפּעראַטור פון אַלויינג זענען יוזשאַוואַלי באשלאסן לויט די קעראַקטעריסטיקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און די פאָרעם פון צומיש אויוון. פון קורס, אויב די שפּאָן ילעקטראָוד פּראָצעס אַזאַ ווי בלוי-גרין איז מער קאָמפּליצירט, די פּאַסיוו פילם גראָוט און פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס דאַרפֿן צו זיין צוגעגעבן.

אין די געפירט שפּאָן מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, וואָס פּראַסעסאַז האָבן אַ וויכטיק פּראַל אויף זייַן פאָטאָעלעקטריק פאָרשטעלונג?

אין אַלגעמיין, נאָך די קאַמפּלישאַן פון געפירט עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, די הויפּט עלעקטריקאַל פאָרשטעלונג איז פיינאַלייזד. די שפּאָן מאַנופאַקטורינג וועט נישט טוישן זיין האַרץ פּראָדוקציע נאַטור, אָבער ימפּראַפּער טנאָים אין די קאָוטינג און אַללויינג פּראָצעס וועט פאַרשאַפן עטלעכע עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס צו זיין אָרעם. פֿאַר בייַשפּיל, נידעריק אָדער הויך אַללויינג טעמפּעראַטור וועט פאַרשאַפן נעבעך אָהמיק קאָנטאַקט, וואָס איז די הויפּט סיבה פֿאַר הויך פאָרויס וואָולטידזש קאַפּ VF אין שפּאָן מאַנופאַקטורינג. נאָך קאַטינג, אויב עטלעכע עטשינג פּראָצעס איז דורכגעקאָכט אויף די שפּאָן ברעג, עס וועט זיין נוציק צו פֿאַרבעסערן די פאַרקערט ליקאַדזש פון די שפּאָן. דאָס איז ווייַל נאָך קאַטינג מיט אַ דימענט גרינדינג ראָד בלייד, עס וועט זיין אַ פּלאַץ פון דעבריס פּודער לינקס אויף די שפּאָן ברעג. אויב די פּאַרטיקאַלז שטעקן צו די PN קנופּ פון די געפירט שפּאָן, זיי וועלן פאַרשאַפן עלעקטריש ליקאַדזש אָדער אפילו ברייקדאַון. אין דערצו, אויב די פאָטאָרעסיסט אויף די שפּאָן ייבערפלאַך איז נישט פּיילד אַוועק ריין, עס וועט פאַרשאַפן שוועריקייטן אין פראָנט דראָט באַנדינג און פאַלש סאַדערינג. אויב עס איז די צוריק, עס וועט אויך פאַרשאַפן הויך דרוק קאַפּ. אין דעם פּראָצעס פון שפּאָן פּראָדוקציע, ליכט ינטענסיטי קענען זיין ימפּרוווד דורך מיטל פון ראַפינג ייבערפלאַך און קאַטינג אין ינווערטיד טראַפּעזאָיד סטרוקטור.

פארוואס זענען געפירט טשיפּס צעטיילט אין פאַרשידענע סיזעס? וואָס זענען די יפעקס פון גרייס אויףגעפירט פאָטאָעלעקטריקפאָרשטעלונג?

געפירט שפּאָן גרייס קענען זיין צעטיילט אין קליין מאַכט שפּאָן, מיטל מאַכט שפּאָן און הויך מאַכט שפּאָן לויט צו מאַכט. לויט צו קונה באדערפענישן, עס קענען זיין צעטיילט אין איין רער מדרגה, דיגיטאַל מדרגה, לאַטאַס מדרגה און דעקאָראַטיווע לייטינג און אנדערע קאַטעגאָריעס. די ספּעציפיש גרייס פון דעם שפּאָן דעפּענדס אויף די פאַקטיש פּראָדוקציע מדרגה פון פאַרשידענע שפּאָן מאַניאַפאַקטשערערז, און עס איז קיין ספּעציפיש פאָדערונג. ווי לאַנג ווי דער פּראָצעס איז קוואַלאַפייד, די שפּאָן קענען פֿאַרבעסערן די אַפּאַראַט רעזולטאַט און רעדוצירן די פּרייַז, און די פאָוטאָועלעקטריק פאָרשטעלונג וועט נישט ענדערן פאַנדאַמענטאַלי. די קראַנט געניצט דורך די שפּאָן איז פאקטיש שייך צו די קראַנט געדיכטקייַט פלאָוינג דורך די שפּאָן. די קראַנט געניצט דורך די שפּאָן איז קליין און די קראַנט געניצט דורך די שפּאָן איז גרויס. זייער אַפּאַראַט קראַנט געדיכטקייַט איז בייסיקלי די זעלבע. קאַנסידערינג אַז היץ דיסיפּיישאַן איז דער הויפּט פּראָבלעם אונטער הויך קראַנט, זייַן לייַכטיק עפעקטיווקייַט איז נידעריקער ווי אַז אונטער נידעריק קראַנט. אויף די אנדערע האַנט, ווי די שטח ינקריסיז, די באַנד קעגנשטעל פון די שפּאָן וועט פאַרמינערן, אַזוי די פאָרויס קאַנדאַקשאַן וואָולטידזש וועט פאַרמינערן.

וואָס גרייס שפּאָן טוט געפירט הויך-מאַכט שפּאָן בכלל אָפּשיקן צו? פארוואס?

געפירט הויך-מאַכט טשיפּס געניצט פֿאַר ווייַס ליכט קענען בכלל זיין געזען אין די מאַרק ביי וועגן 40 מילז, און די אַזוי גערופענע הויך-מאַכט טשיפּס בכלל מיינען אַז די עלעקטריקאַל מאַכט איז מער ווי 1 וו. זינט די קוואַנטום עפעקטיווקייַט איז בכלל ווייניקער ווי 20%, רובֿ פון די עלעקטריק ענערגיע וועט זיין קאָנווערטעד אין היץ ענערגיע, אַזוי די היץ דיסיפּיישאַן פון הויך-מאַכט טשיפּס איז זייער וויכטיק, ריקוויירינג אַ גרעסערע שפּאָן שטח.

וואָס זענען די פאַרשידענע רעקווירעמענץ פון שפּאָן פּראָצעס און פּראַסעסינג ויסריכט פֿאַר מאַנופאַקטורינג GaN עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס קאַמפּערד מיט GaP, GaAs און InGaAlP? פארוואס?

די סאַבסטרייץ פון פּראָסט געפירט רויט און געל טשיפּס און העל קוואַטערנערי רויט און געל טשיפּס זענען געמאכט פון גאַפּ, גאַאַס און אנדערע קאַמפּאַונד סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, וואָס קענען בכלל זיין געמאכט אין N-טיפּ סאַבסטרייץ. דער נאַס פּראָצעס איז געניצט פֿאַר פאָטאָליטאָגראַפי, און שפּעטער די דימענט ראָד בלייד איז געניצט פֿאַר קאַטינג אין טשיפּס. די בלוי-גרין שפּאָן פון GaN מאַטעריאַל איז אַ סאַפייער סאַבסטרייט. ווייַל די סאַפייער סאַבסטרייט איז ינסאַלייטיד, עס קענען ניט זיין געוויינט ווי אַ פלאָקן פון געפירט. די P / N ילעקטראָודז מוזן זיין געמאכט אויף די עפּיטאַקסיאַל ייבערפלאַך סיימאַלטייניאַסלי דורך אַ טרוקן עטשינג פּראָצעס און אויך דורך עטלעכע פּאַסיוויישאַן פּראַסעסאַז. ווייַל סאַפּפירעס זענען זייער שווער, עס איז שווער צו שנייַדן טשיפּס מיט דימענט גרינדינג ראָד בלאַדעס. דער פּראָצעס איז בכלל מער קאָמפּליצירט ווי די פון גאַפּ און גאַאַס לעדס.

וואָס איז די סטרוקטור און קעראַקטעריסטיקס פון די "טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד" שפּאָן?

די אַזוי גערופענע טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד זאָל קענען צו פירן עלעקטרע און ליכט. דעם מאַטעריאַל איז איצט וויידלי געניצט אין פליסיק קריסטאַל פּראָדוקציע פּראָצעס. זיין נאָמען איז ינדיום טין אַקסייד (יטאָ), אָבער עס קען נישט זיין געוויינט ווי אַ וועלדינג בלאָק. בעשאַס פאַבריקיישאַן, די אָמיק ילעקטראָוד זאָל זיין געמאכט אויף די שפּאָן ייבערפלאַך, און אַ יטאָ פּלאַסט זאָל זיין קאָוטאַד אויף די ייבערפלאַך, און אַ פּלאַסט פון וועלדינג בלאָק זאָל זיין קאָוטאַד אויף די יטאָ ייבערפלאַך. אין דעם וועג, די קראַנט פון די פירן איז יוואַנלי פונאנדערגעטיילט צו יעדער אָהמיק קאָנטאַקט ילעקטראָוד דורך די יטאָ שיכטע. אין דער זעלביקער צייט, זינט די ITO רעפראַקטיווע אינדעקס איז צווישן די לופט און די רעפראַקטיווע אינדעקס פון די עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל, די ליכט ווינקל קענען זיין געוואקסן און די לייַכטיק פלאַקס קענען אויך זיין געוואקסן.

וואָס איז די מיינסטרים פון שפּאָן טעכנאָלאָגיע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער לייטינג?

מיט דער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַנז אין די פעלד פון לייטינג זענען מער און מער, ספּעציעל די ימערדזשאַנס פון ווייַס געפירט, וואָס איז געווארן דער פאָקוס פון סעמיקאַנדאַקטער לייטינג. אָבער, די שליסל שפּאָן און פּאַקקאַגינג טעכנאָלאָגיע נאָך דאַרפֿן צו זיין ימפּרוווד, און דער שפּאָן זאָל זיין דעוועלאָפּעד צו הויך מאַכט, הויך לייַכטיק עפעקטיווקייַט און נידעריק טערמאַל קעגנשטעל. פאַרגרעסערן די מאַכט מיטל ינקריסינג די קראַנט געניצט דורך די שפּאָן. די מער דירעקט וועג איז צו פאַרגרעסערן די שפּאָן גרייס. נאָוואַדייַס, הויך-מאַכט טשיפּס זענען אַלע 1 מם × 1 מם, און די קראַנט איז 350 מאַ רעכט צו דער פאַרגרעסערן פון די נוצן קראַנט, די פּראָבלעם פון היץ דיסיפּיישאַן איז געווארן אַ באַוווסט פּראָבלעם. איצט דעם פּראָבלעם איז בייסיקלי סאַלווד דורך שפּאָן פליפּ. מיט דער אַנטוויקלונג פון געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די לייטינג פעלד וועט זיין אַן אַנפּרעסידענטיד געלעגנהייט און אַרויסרופן.

וואָס איז פליפּ טשיפּ? וואָס איז זייַן סטרוקטור? וואָס זענען זייַן אַדוואַנטידזשיז?

בלוי געפירט יוזשאַוואַלי ניצט אַל2אָ3 סאַבסטרייט. אַל2אָ3 סאַבסטרייט האט הויך כאַרדנאַס, נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קאַנדאַקטיוואַטי. אויב די positive סטרוקטור איז געניצט, אויף די איין האַנט, עס וועט פאַרשאַפן אַנטי-סטאַטיק פּראָבלעמס, אויף די אנדערע האַנט, היץ דיסיפּיישאַן וועט אויך ווערן אַ הויפּט פּראָבלעם אונטער הויך קראַנט טנאָים. אין דער זעלביקער צייט, ווייַל די פראָנט ילעקטראָוד איז פייסינג אַרויף, טייל פון די ליכט וועט זיין אפגעשטעלט, און די לייַכטיק עפעקטיווקייַט וועט זיין רידוסט. הויך מאַכט בלוי געפירט קענען באַקומען מער עפעקטיוו ליכט רעזולטאַט ווי טראדיציאנעלן פּאַקקאַגינג טעכנאָלאָגיע דורך שפּאָן פליפּ שפּאָן טעכנאָלאָגיע.

די קראַנט מיינסטרים פליפּ סטרוקטור צוגאַנג איז: ערשטער, צוגרייטן אַ גרויס גרייס בלוי געפירט שפּאָן מיט אַ פּאַסיק יוטעקטיק וועלדינג ילעקטראָוד, אין דער זעלביקער צייט, צוגרייטן אַ סיליציום סאַבסטרייט אַ ביסל גרעסער ווי די בלוי געפירט שפּאָן, און פּראָדוצירן אַ גאָלד קאַנדאַקטיוו שיכטע און פירן דראָט. שיכטע (אַלטראַסאַניק גאָלד דראָט פּילקע סאַדער שלאָס) פֿאַר יוטעקטיק וועלדינג. דערנאָך, די הויך-מאַכט בלוי געפירט שפּאָן און די סיליציום סאַבסטרייט זענען וועלדיד צוזאַמען מיט יוטעקטיק וועלדינג עקוויפּמענט.

די סטרוקטור איז קעראַקטערייזד דורך אַז די עפּיטאַקסיאַל שיכטע גלייך קאָנטאַקט מיט די סיליציום סאַבסטרייט, און די טערמאַל קעגנשטעל פון די סיליציום סאַבסטרייט איז פיל נידעריקער ווי אַז פון די סאַפייער סאַבסטרייט, אַזוי די פּראָבלעם פון היץ דיסיפּיישאַן איז געזונט סאַלווד. זינט די סאַבסטרייט פון די סאַפייער איז פייסינג אַרויף נאָך ינווערזשאַן, עס ווערט די ליכט ימיטינג ייבערפלאַך. די סאַפייער איז טראַנספּעראַנט, אַזוי די ליכט ימיטינג פּראָבלעם איז אויך סאַלווד. די אויבן איז די באַטייַטיק וויסן פון געפירט טעכנאָלאָגיע. איך גלויבן אַז מיט דער אַנטוויקלונג פון וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע, געפירט לאַמפּס אין דער צוקונפֿט וועט ווערן מער און מער עפעקטיוו, און זייער דינסט לעבן וועט זיין זייער ימפּרוווד, ברענגען אונדז מער קאַנוויניאַנס.