וואָס איזגעפירט שפּאָן? אַזוי וואָס זענען זייַן טשאַראַקטעריסטיקס? געפירט שפּאָן מאַנופאַקטורינג איז דער הויפּט צו פּראָדוצירן עפעקטיוו און פאַרלאָזלעך נידעריק אָומיק קאָנטאַקט ילעקטראָודז, טרעפן די לעפיערעך קליין וואָולטידזש קאַפּ צווישן קאָנטאַקטאַבלע מאַטעריאַלס, צושטעלן דרוק פּאַדס פֿאַר וועלדינג ווירעס און אַרויסלאָזן ליכט ווי פיל ווי מעגלעך. דער פילם יבערגאַנג פּראָצעס בכלל ניצט וואַקוום יוואַפּעריישאַן אופֿן. אונטער 4פּאַ הויך וואַקוום, דער מאַטעריאַל איז צעלאָזן דורך קעגנשטעל באַהיצונג אָדער עלעקטראָן שטראַל באַמבאַרדמענט באַהיצונג אופֿן, און bZX79C18 ווערט מעטאַל פארע און דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל אונטער נידעריק דרוק.

אין אַלגעמיין, די פ-טיפּ קאָנטאַקט מעטאַל געניצט כולל Aube, auzn און אנדערע אַלויז, און די n-זייַט קאָנטאַקט מעטאַל אָפט אַדאַפּץ AuGeNi צומיש. די קאָנטאַקט שיכטע פון ​​די ילעקטראָוד און די יקספּאָוזד צומיש שיכטע קענען יפעקטיוולי טרעפן די באדערפענישן פון די ליטהאָגראַפי פּראָצעס. נאָך די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס, עס איז אויך דורך די אַללויינג פּראָצעס, וואָס איז יוזשאַוואַלי דורכגעקאָכט אונטער די שוץ פון H2 אָדער N2. די צומיש צייט און טעמפּעראַטור זענען יוזשאַוואַלי באשלאסן לויט די קעראַקטעריסטיקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און די פאָרעם פון צומיש אויוון. פון קורס, אויב די שפּאָן ילעקטראָוד פּראָצעס אַזאַ ווי בלוי און גרין איז מער קאָמפּליצירט, פּאַסיוו פילם גראָוט און פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס דאַרפֿן צו זיין צוגעגעבן.

אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון געפירט שפּאָן, וואָס פּראָצעס האט אַ וויכטיק פּראַל אויף זייַן פאָטאָעלעקטריק פאָרשטעלונג?

בכלל גערעדט, נאָך די קאַמפּלישאַן פוןגעפירט עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, זייַן הויפּט עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס האָבן שוין פיינאַלייזד, און די שפּאָן מאַנופאַקטורינג וועט נישט טוישן זייַן יאָדער נאַטור, אָבער ימפּראַפּער טנאָים אין דעם פּראָצעס פון קאָוטינג און אַללויינג וועט פאַרשאַפן עטלעכע אַדווערס עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס. פֿאַר בייַשפּיל, נידעריק אָדער הויך אַללויינג טעמפּעראַטור וועט פאַרשאַפן נעבעך אָהמיק קאָנטאַקט, וואָס איז די הויפּט סיבה פֿאַר די הויך פאָרויס וואָולטידזש קאַפּ VF אין שפּאָן מאַנופאַקטורינג. נאָך קאַטינג, אויב עטלעכע קעראָוזשאַן פּראַסעסאַז זענען דורכגעקאָכט אויף די ברעג פון די שפּאָן, עס וועט זיין נוציק צו פֿאַרבעסערן די פאַרקערט ליקאַדזש פון די שפּאָן. דאָס איז ווייַל נאָך קאַטינג מיט אַ דימענט גרינדינג ראָד בלייד, מער דעבריס און פּודער וועט בלייַבן בייַ די ברעג פון די שפּאָן. אויב זיי זענען סטאַק צו די PN קנופּ פון די געפירט שפּאָן, זיי וועלן פאַרשאַפן עלעקטריש ליקאַדזש און אפילו ברייקדאַון. אין דערצו, אויב די פאָטאָרעסיסט אויף די שפּאָן ייבערפלאַך איז נישט ריין, עס וועט פאַרשאַפן שוועריקייטן אין פראָנט וועלדינג און פאַלש וועלדינג. אויב עס איז אויף די צוריק, עס וועט אויך פאַרשאַפן הויך דרוק קאַפּ. אין דעם פּראָצעס פון שפּאָן פּראָדוקציע, די ליכט ינטענסיטי קענען זיין ימפּרוווד דורך קאָאַרסינג די ייבערפלאַך און דיוויידינג עס אין ינווערטיד טראַפּעזאָידאַל סטרוקטור.

פארוואס זאָל געפירט טשיפּס זיין צעטיילט אין פאַרשידענע סיזעס? וואָס זענען די יפעקץ פון גרייס אויף די פאָטאָעלעקטריק פאָרשטעלונג פון געפירט?

געפירט שפּאָן גרייס קענען זיין צעטיילט אין נידעריק-מאַכט שפּאָן, מיטל מאַכט שפּאָן און הויך-מאַכט שפּאָן לויט צו מאַכט. לויט צו קונה באדערפענישן, עס קענען זיין צעטיילט אין איין רער מדרגה, דיגיטאַל מדרגה, פּונקט מאַטריץ מדרגה און דעקאָראַטיווע לייטינג. ווי פֿאַר די ספּעציפיש גרייס פון דעם שפּאָן, עס איז באשלאסן לויט די פאַקטיש פּראָדוקציע מדרגה פון פאַרשידענע שפּאָן מאַניאַפאַקטשערערז, און עס איז קיין ספּעציפיש פאָדערונג. ווי לאַנג ווי דער פּראָצעס פּאַסיז, ​​די שפּאָן קענען פֿאַרבעסערן די אַפּאַראַט רעזולטאַט און רעדוצירן די פּרייַז, און די פאָוטאָועלעקטריק פאָרשטעלונג וועט נישט ענדערן פאַנדאַמענטאַלי. די נוצן קראַנט פון די שפּאָן איז פאקטיש שייך צו די קראַנט געדיכטקייַט פלאָוינג דורך די שפּאָן. ווען דער שפּאָן איז קליין, די נוצן קראַנט איז קליין, און ווען די שפּאָן איז גרויס, די נוצן קראַנט איז גרויס. זייער אַפּאַראַט קראַנט געדיכטקייַט איז בייסיקלי די זעלבע. קאָנסידערינג אַז היץ דיסיפּיישאַן איז די הויפּט פּראָבלעם אונטער הויך קראַנט, זייַן לייַכטיק עפעקטיווקייַט איז נידעריקער ווי אַז פון נידעריק קראַנט. אויף די אנדערע האַנט, ווי די שטח ינקריסיז, די גוף קעגנשטעל פון די שפּאָן וועט פאַרמינערן, אַזוי די פאָרויס אויף וואָולטידזש וועט פאַרמינערן.

וואָס איז די געגנט פון געפירט הויך-מאַכט שפּאָן? פארוואס?

געפֿירט הויך-מאַכט טשיפּספֿאַר ווייַס ליכט זענען בכלל וועגן 40 מיל אין די מאַרק. די אַזוי גערופענע נוצן מאַכט פון הויך-מאַכט טשיפּס בכלל רעפערס צו די עלעקטריק מאַכט פון מער ווי 1 וו. זינט די קוואַנטום עפעקטיווקייַט איז בכלל ווייניקער ווי 20%, רובֿ פון די עלעקטריק ענערגיע וועט זיין קאָנווערטעד אין היץ ענערגיע, אַזוי די היץ דיסיפּיישאַן פון הויך-מאַכט שפּאָן איז זייער וויכטיק, און די שפּאָן איז פארלאנגט צו האָבן אַ גרויס שטח.

וואָס זענען די פאַרשידענע רעקווירעמענץ פון שפּאָן טעכנאָלאָגיע און פּראַסעסינג ויסריכט פֿאַר מאַנופאַקטורינג GaN עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס קאַמפּערד מיט ריס, GaAs און InGaAlP? פארוואס?

די סאַבסטרייץ פון פּראָסט געפירט רויט און געל טשיפּס און העל קוואַד רויט און געל טשיפּס זענען געמאכט פון קאַמפּאַונד סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי ריס און גאַאַס, וואָס קענען בכלל זיין געמאכט אין n-טיפּ סאַבסטרייץ. דער נאַס פּראָצעס איז געניצט פֿאַר ליטהאָגראַפי, און דעמאָלט די דימענט גרינדינג ראָד בלייד איז געניצט צו שנייַדן די שפּאָן. די בלוי-גרין שפּאָן פון GaN מאַטעריאַל איז אַ סאַפייער סאַבסטרייט. ווייַל די סאַפייער סאַבסטרייט איז ינסאַלייטיד, עס קענען ניט זיין געוויינט ווי איין פלאָקן פון געפירט. עס איז נייטיק צו מאַכן פּ / ען ילעקטראָודז אויף די עפּיטאַקסיאַל ייבערפלאַך אין דער זעלביקער צייט דורך טרוקן עטשינג פּראָצעס און עטלעכע פּאַסיוויישאַן פּראַסעסאַז. ווייַל סאַפייער איז זייער שווער, עס איז שווער צו ציען טשיפּס מיט דימענט גרינדינג ראָד בלייד. זיין טעקנאַלאַדזשיקאַל פּראָצעס איז בכלל מער און קאָמפּליצירט ווי אַז פון געפירט געמאכט פון ריס און גאַאַס מאַטעריאַלס.

וואָס איז די סטרוקטור און קעראַקטעריסטיקס פון "טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד" שפּאָן?

די אַזוי גערופענע טראַנספּעראַנט ילעקטראָוד זאָל זיין קאַנדאַקטיוו און טראַנספּעראַנט. דעם מאַטעריאַל איז איצט וויידלי געניצט אין די פּראָדוקציע פון ​​פליסיק קריסטאַל. זיין נאָמען איז ינדיום צין אַקסייד, וואָס איז אַבריוויייטיד ווי יטאָ, אָבער עס קען נישט זיין געוויינט ווי אַ סאַדער בלאָק. בעשאַס פאַבריקיישאַן, אָהמיק ילעקטראָוד זאָל זיין געמאכט אויף די ייבערפלאַך פון די שפּאָן, דעמאָלט אַ פּלאַסט פון יטאָ זאָל זיין באדעקט אויף די ייבערפלאַך, און אַ פּלאַסט פון וועלדינג בלאָק זאָל זיין פּלייטאַד אויף די יטאָ ייבערפלאַך. אין דעם וועג, די קראַנט פון די פירן איז יוואַנלי פונאנדערגעטיילט צו יעדער אָהמיק קאָנטאַקט ילעקטראָוד דורך די יטאָ שיכטע. אין דער זעלביקער צייט, ווייַל די רעפראַקטיווע אינדעקס פון יטאָ איז צווישן די רעפראַקטיווע אינדעקס פון לופט און עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל, די ליכט ווינקל קענען זיין ימפּרוווד און די לייַכטיק פלאַקס קענען זיין געוואקסן.

וואָס איז די מיינסטרים פון שפּאָן טעכנאָלאָגיע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער לייטינג?

מיט דער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די פעלד פון לייטינג איז מער און מער, ספּעציעל די ימערדזשאַנס פון ווייַס געפירט איז געווארן אַ הייס אָרט פון סעמיקאַנדאַקטער לייטינג. אָבער, די שליסל שפּאָן און פּאַקקאַגינג טעכנאָלאָגיע דאַרף זיין ימפּרוווד. אין טערמינען פון שפּאָן, מיר זאָל אַנטוויקלען צו הויך מאַכט, הויך לייַכטיק עפעקטיווקייַט און רידוסינג טערמאַל קעגנשטעל. ינקרעאַסינג די מאַכט מיטל אַז די נוצן קראַנט פון די שפּאָן איז געוואקסן. די מער דירעקט וועג איז צו פאַרגרעסערן די שפּאָן גרייס. איצט די פּראָסט הויך-מאַכט טשיפּס זענען 1 מם × 1 מם אָדער אַזוי, און די אַפּערייטינג קראַנט איז 350 מאַ רעכט צו דער פאַרגרעסערן פון די נוצן קראַנט, די היץ דיסיפּיישאַן פּראָבלעם איז געווארן אַ באַוווסט פּראָבלעם. איצט דעם פּראָבלעם איז בייסיקלי סאַלווד דורך דעם אופֿן פון שפּאָן פליפּ. מיט דער אַנטוויקלונג פון געפירט טעכנאָלאָגיע, זייַן אַפּלאַקיישאַן אין די פעלד פון לייטינג וועט זיין אַן אַנפּרעסידענטיד געלעגנהייט און אַרויסרופן.

וואָס איז פליפּ שפּאָן? וואָס איז זייַן סטרוקטור? וואָס זענען זייַן אַדוואַנטידזשיז?

בלוי געפירט יוזשאַוואַלי אַדאַפּץ אַל2אָ3 סאַבסטרייט. אַל2אָ3 סאַבסטרייט האט הויך כאַרדנאַס און נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי. אויב עס אַדאַפּט פאָרמאַל סטרוקטור, אויף די איין האַנט, עס וועט ברענגען אַנטי-סטאַטיק פּראָבלעמס; אויף די אנדערע האַנט, היץ דיסיפּיישאַן וועט אויך ווערן אַ הויפּט פּראָבלעם אונטער הויך קראַנט. אין דער זעלביקער צייט, ווייַל די פראָנט ילעקטראָוד איז אַרוף, עטלעכע ליכט וועט זיין אפגעשטעלט, און די לייַכטיק עפעקטיווקייַט וועט זיין רידוסט. הויך מאַכט בלוי געפירט קענען באַקומען מער עפעקטיוו ליכט רעזולטאַט דורך שפּאָן פליפּ שפּאָן טעכנאָלאָגיע ווי טראדיציאנעלן פּאַקקאַגינג טעכנאָלאָגיע.

דערווייַל, די מיינסטרים פליפּ שפּאָן סטרוקטור אופֿן איז: ערשטער, צוגרייטן אַ גרויס-גרייס בלוי געפירט שפּאָן מיט יוטעקטיק וועלדינג ילעקטראָוד, צוגרייטן אַ סיליציום סאַבסטרייט אַ ביסל גרעסער ווי די בלוי געפירט שפּאָן, און מאַכן אַ גאָלד קאַנדאַקטיוו שיכטע און פירן אויס דראָט שיכטע ( אַלטראַסאַניק גאָלד דראָט פּילקע סאַדער שלאָס) פֿאַר יוטעקטיק וועלדינג אויף עס. דערנאָך, די הויך-מאַכט בלוי געפירט שפּאָן און סיליציום סאַבסטרייט זענען וועלדיד צוזאַמען דורך יוטעקטיק וועלדינג עקוויפּמענט.

די כאַראַקטעריסטיש פון דעם סטרוקטור איז אַז די עפּיטאַקסיאַל שיכטע איז אין דירעקט קאָנטאַקט מיט די סיליציום סאַבסטרייט, און די טערמאַל קעגנשטעל פון די סיליציום סאַבסטרייט איז פיל נידעריקער ווי אַז פון די סאַפייער סאַבסטרייט, אַזוי די פּראָבלעם פון היץ דיסיפּיישאַן איז געזונט סאַלווד. ווייַל די סאַפייער סאַבסטרייט פייסיז אַרוף נאָך פליפּ מאַונטינג, עס ווערט אַ ליכט ימיטינג ייבערפלאַך, און די סאַפייער איז טראַנספּעראַנט, אַזוי די ליכט ימיטינג פּראָבלעם איז אויך סאַלווד. די אויבן איז די באַטייַטיק וויסן פון געפירט טעכנאָלאָגיע. איך גלויבן אַז מיט דער אַנטוויקלונג פון וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע, די צוקונפֿט געפירט לאַמפּס וועט זיין מער און מער עפעקטיוו, און די דינסט לעבן וועט זיין זייער ימפּרוווד, וואָס וועט ברענגען אונדז מער קאַנוויניאַנס.